關(guān)鍵詞:分子泵,隔膜真空泵,干式抗化學(xué)腐蝕螺旋真空泵,螺桿真空泵,兩級(jí)旋片真空泵,渦卷式真空泵分子泵也是實(shí)驗(yàn)室常用的真空獲得設(shè)備之一,由于分子泵不能常壓下啟動(dòng),因此需要配置前級(jí)泵來組合使用。分子泵組成為物理、半導(dǎo)體、物化、化學(xué)等實(shí)驗(yàn)室的常備設(shè)備,怎樣配置一臺(tái)合理的分子泵的前級(jí)泵呢?分子泵的前級(jí)泵的選擇,首先是要選擇真空度小于10mbar以下的真空泵,再根據(jù)抽吸腔體的大小來選擇。通常腔體容積5...
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